ファインデバイス事業部

オゾン発生装置オゾン水製造装置オゾン注入装置
オゾナイザ気液混合器増圧ユニット
オゾン測定オゾン分解各種装置

オゾナイザ

オゾナイザ1
 型式:MA-200
 用途:一般用
 特徴:コンパクト構造、長寿命
 オゾンガス濃度:6000ppm
 オゾンガス濃度:60Ncc/min
 オゾン発生量:1.0g/h
 寸法:W90×D200×H164
 電源:DC24V

オゾナイザ2
 型式:SA-100
 用途:一般用
 特徴:コンパクト構造、長寿命
 オゾンガス濃度:30000ppm
 オゾンガス濃度:~4Nl/min
 オゾン発生量:~10g/h
 寸法:W140×D68×H175
 電源:AC100V 50/60Hz

オゾナイザ3
 型式:QO-35
 用途:半導体製造用
 特徴:石英2重管を使用、長寿命、メンテナンス・フリー
 オゾンガス濃度:~4l/min
 オゾン発生量:~30g/h
 電源:AC100V 50/60Hz