ファインデバイス事業部

オゾン発生装置オゾン水製造装置オゾン注入装置
オゾナイザ気液混合器増圧ユニット
オゾン測定オゾン分解各種装置

オゾン水製造装置[半導体製造向け]
スタンダードタイプ(OWMシリーズ)

よりシンプルで、設置場所にマッチした装置をご提案致します。

【特徴】
 オゾン発生装置の基本特徴
 オゾンガス発生部、オゾン水製造部の分割設置可能
 2系統送水可能
【標準仕様】
 オゾン水濃度:~50mg/l
 オゾン水送水量:~50l/min
 電源:3φ 200/220V 50/60Hz

オゾン水製造装置1
 型式:OWM-3020
 オゾン水濃度:~30mg/l
 オゾン水送水量:~20l/min(送水系統 1)
 寸法:W1000×D650×H1700
 オプション:オゾン水濃度計、内部漏洩用オゾンモニター

サーキュレーション・タイプ(OWSC,OWMCシリーズ)

オゾン水濃度循環利用タイプで、ランニングコスト削減に貢献致します。

【特徴】
 オゾン発生装置の基本特徴
 オゾンガス発生部、オゾン水製造部の分割設置可能
 多系統送水可能
 節水機能可能
【標準仕様】
 オゾン水濃度:~50mg/l
 オゾン水送水量:~30l/min
 電源:3φ 200/220V 50/60Hz

オゾン水製造装置2
 型式:OWSC-2007AS
 オゾン水濃度:20mg/l
 オゾン水流量:7l/min
 寸法:W950×D600×H1950
 原料ガス:高純度酸素、窒素、炭酸ガス
 規格・認定:SEMI・CE


スタンダード・エコユニット(OWCシリーズ)

従来の垂れ流し型の装置を循環型オゾン水製造装置に変身できます。

【特徴】
 スタンダードタイプを節水機能タイプに変更
【標準仕様】
 オゾン水処理量:~30l/min
 電源:スタンダードタイプより供給

オゾン水製造装置3
 オゾン水濃度:25mg/l
 オゾン水流量:8l/min
 寸法:W500×D600×H1700