ファインデバイス事業部

オゾン発生装置オゾン水製造装置オゾン注入装置
オゾナイザ気液混合器増圧ユニット
オゾン測定オゾン分解各種装置

オゾン発生装置[半導体製造向け]
スタンダードタイプ(QOシリーズ)

半導体、一般産業向け等、ご要望に合った装置をご提案致します。

【特徴】
 オゾン発生部は石英2重管を使用
 外部オゾン濃度信号により、オゾン濃度を制御
 応答特性が迅速
 長寿命、高信頼性
【標準仕様】
 オゾンガス濃度:70000ppm
 オゾンガス流量:~24Nl/min
 電源:3φ 200/220V 50/60Hz

オゾン発生装置1
 型式:QO-3004
 オゾンガス濃度:70000ppm
 オゾンガス流量:~3Nl/min
 寸法:W750×D630×H1575

オゾン発生装置2
 型式:QO-180
 オゾンガス濃度:70000ppm
 オゾンガス流量:12Nl/min
 寸法:W1255×D737×H1790